Hybridný 3D optický profilometer LEXT OLS 5500

Popis produktu

LEXT OLS 5500

• 3 v 1 výnimočne presné zobrazovanie – LSM, WLI a FVM – v jednej ľahko použiteľnej platforme
• Prvý 3D optický profilometer, ktorý zaisťuje zaručenú presnosť a opakovateľnosť merania LSM aj WLI
• Precízne merania, rýchla a jednoduchá obsluha
• Vysokokvalitné zobrazovanie v 4k rozlíšení, 2CH PMT detektory a nový MEMS rezonančný skener
• Kontinuálny autofocus
• Konfokálny režim (Laser DIC, Color a Color DIC) v kombinácii s klasickým zobrazením BF, DF, POL, DIC, HDR
• Prvotriedna metrológia so širokou škálou meracích modulov
• Rýchle nekontaktné, nedeštruktívne zobrazovanie a meranie bez nutnosti prípravy vzorky
• Špičkové rozlíšenie v osi XY 120nm, v osi Z 1nm (LSM) a 0.08nm (WLI)
• Meranie hrán a zkosení ≤ 87.5°, Meranie: dĺžky, hrúbky, plochy, objemu, profilu, veľkosti zrna, podielu fáz, porozity a iné
• Meranie líniovej a plošnej drsnosti v súlade s normami ISO4287, ISO25178
• Hodnotenie mikročistoty a štruktúry materiálov podľa normy ASTM a DIN
• Garantovaná vysoká presnosť a opakovateľnosť merania
• Použiteľný na transparentné vrstvy
• Modulárny systém, Plocha skenovania až 300x300mm, Výška vzorky až 210mm
• Mikroskop s kalibračným certifikátom autentifikovaným ILAC-MRA kalibráciou akreditačných agentúr (JCSS, JAB)
• Export údajov vo formáte STL pre CAD aplikácie
• Možnosť kombinácie s AFM mikroskopom

Hybridný 3D optický profilometer Evident LEXT™ OLS5500 spája laserovú skenovaciu mikroskopiu (LSM), interferometriu bieleho svetla (WLI) a mikroskopiu s variáciou ohniska (FVM) v jednej výkonnej platforme. Je určený pre tímy výskumu a vývoja, kontroly kvality a kontroly kvality a poskytuje presné detaily povrchu, sledovateľnú presnosť pre spoľahlivé merania a intuitívne používateľské rozhranie na zefektívnenie pracovných postupov. Dôveryhodné dáta – poháňané presnou optikou, overiteľnou kalibráciou a inteligentnou automatizáciou – pomáhajú laboratóriám plynule prejsť od prvého objavu ku konečnému rozhodnutiu.

LSM (Confocal Laser Scanning Microscope) je určený predovšetkým pre materiálové vedy a patrí do skupiny meracích systémov. Tieto systémy umožňujúcich veľmi rýchle, efektívne a presné 2D a 3D pozorovanie a meranie, presné vyhodnocovanie povrchov rôzneho tvaru a zloženia ako napr. pevné objemové štruktúry a materiály nepravidelného tvaru vrátane drevín, tkanín, tenkých vrstiev, transparentných materiálov a vrstiev, vlákien, práškov, štruktúry rozličných kovových materiálov, plastov a ďalších. LSM zohráva v oblasti materiálových vied veľmi dôležitú úlohu, kde vďaka svojmu vynikajúcemu rozlíšeniu, schopnosti 2D a 3D zobrazovania a analýzy, presného submikrónového merania bez nutnosti akejkoľvek predbežnej úpravy povrchu vzorky a veľkému rozsahu zväčšenia vypĺňa medzeru medzi optickými a (SEM) rastrovacími elektrónovými mikroskopmi.

FVM (Focus Variation Microscopy) je technika vhodná na zachytenie makroskopického tvaru vzorky. Kombináciou FVM s LSM alebo WLI umožňuje získanie tvaru od makroskopických komponentov po mikroštruktúry.

WLI (White light interferometry) technika vhodná pre hladké a naklonené povrchy a na meranie krokov rádovo nm. Konštantný výkon merania výšky je možné dosiahnuť pri akomkoľvek zväčšení objektívu.

Smart Scan II  získajte prvotné dáta rýchlo a ľahko už v priebehu niekoľkých sekúnd. Položte vzorku na stolík, stlačte tlačidlo Štart a zvyšok urobí mikroskop.

Smart Lens Advisor vám zas pomôže vybrať ten správny objektív pri meraní drsnosti. Jednoducho zadáte niektoré základné informácie, napríklad veľkosť zorného poľa a objektív ktorý chcete použiť  a systém vám oznámi či je vhodný na danú aplikáciu. Teraz si môžete byť istí, že na túto úlohu používate správny objektív.

Smart Judge Function, funkcia inteligentného rozhodovania. Bežné laserové mikroskopy používajú na elimináciu šumu techniky spracovania obrazu, ako je vyhladzovanie. Tieto techniky však môžu odfiltrovať spolu so šumom aj jemné výškové nepravidelnosti čo zapríčiní menej presné dáta. Algoritmus Smart Judge mikroskopu OLS5500 automaticky deteguje iba spoľahlivé údaje a poskytuje presné merania bez straty údajov o jemných výškových nepravidelnostiach.

Smart Experimental Manager pre správu podmienok experimentu pri testovaní nových materiálov. Tento náročný a komplikovaný postup je uľahčený procesom automatizácie kľúčových krokov, napríklad vytvorením plánu experimentu. Akonáhle je váš plán vytvorený, bunky tabuľky sa automaticky vyplnia údajmi hneď po ich získaní. Nemusíte tak už strácať čas prepisovaním informácií o experimentoch z vášho mikroskopického systému do vášho počítača – systém to robí za vás. Navyše pomáha minimalizovať chyby pri zadávaní, umožňuje ľahký prístup k údajom a ich organizáciu. Softvér zobrazuje farebnú mapu, ktorá vám pomôže lepšie pochopiť údaje zhromaždené počas experimentu. Intuitívne rozloženie grafov a tepelné mapy umožňujú rýchlu vizualizáciu údajov, takže ak sa vyskytnú nejaké problémy, je ich ľahšie rozpoznať a napraviť na začiatku procesu.

Kombinácia CLSM LEXT (UV) s AFM modulom

Ideálnym riešením pre sledovanie povrchov v submikrónovom rozlíšení je kombinácia súčasného CLSM (Confocal Laser Scanning mikroskop) s AFM modulom. Takýmto riešením získavame ucelené kompaktné zariadenie umožňujúce 3D zobrazenie a veľmi presné meranie v osiach X-Y-Z v oblasti zväčšenia 120x-150 000x, s rozlíšením až 1 nm v jednom integrovanom systéme. Ďalšou obrovskou výhodou je možnosť sledovania povrchov presne v definovanom mieste, plynule v celom rozsahu zväčšenia. Základný AFM modul obsahuje kontaktné meranie s možnosťou rozšírenia o väčšinu známych metód, ako napríklad:

• Prerušovaná kontaktná metóda
• Fázový kontrast
• Mikroskopické metódy polí (FMM):
  • Kontrastná metóda magnetického poľa
  • Kontrastná metóda elektrostatického poľa
  • Metóda elasticity povrchu
• Kelvinov snímač – Mikroskopická metóda merania povrchového napätia
• Litografia